Das Tastsystem (Diamant-Tastspitze, Spitzenradius 0,005 mm und Antastkraft 4 mN) tastet die Oberfläche nach der Differential Induktiv Methode ab.

Der Messbereich reicht von 0,05 bis 40 mm. Die Auswertelängen und der Cutoff-Wert liegen bei L / lc = 0,25, 0,8 und 2,5 mm. Die mögliche Anzahl von Stichproben innerhalb einer Taststrecke liegt bei 1, 3 und 5.

Es können 9 bzw. 5 Typen von Rauheitsparametern gemessen werden. Aus dem gefilterten Rauheitsprofil: Ra, Rq, R3z, Rt, Ry, RZ, Rp, tp und Pc. Aus dem ungefilterten Profil: Ry Rz, Rp, Tp, und Pc.

Der eingebaute Drucker ermöglicht die graphische Darstellung des Rauheitsverlaufs der abgetasteten Oberflächen in verschiedenen vertikalen und horizontalen Vergrößerungen.

Über die eingebaute Schnittstelle können die Meßdaten an ein externes Datenverarbeitungsgerät übertragen werden.